JSM-7800F场发射扫描电子显微镜（EDS，EBSD）
样品测试相关说明
一、样品要求：
1、样品不能含有水份及挥发性溶剂，能够承受一定的温度及真空度不变形；
2、EDS样品如需定量时，要求样品表面平整；
3、EBSD样品测，需对样品表面进行抛光处理；
4、样品高度不能超过35mm，样品直径最大为150mm。
二、设备主要技术参数及指标：
1、场发射扫描电子显微镜
规格型号：JSM-7800F
厂家：日本电子
产地：日本
分辨率：二次电子：0.8nm (15kV), 1.2nm (1kV)
加速电压： 0.01 - 30KV 连续可调
放大倍数：25X–1,000,000X ；放大倍数连续可调
2、X射线能谱仪（EDS）
有效探测面积：50mm2
分辨率：优于127eV，（Mn Ka处，计数率为50000cps）
分析元素范围：Be（4）--Cf（98）
3、背散射电子衍射分析仪（EBSD）
相机分辨率：1344*1024像素
角分辨率：<0.1°
实验仪器中心分析测试中心
2015-5-11
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