专利名称:基于磁机电双谐振式的巨磁阻抗磁传感器专利类型:发明专利发明人:王遥,陈蕾
申请号:CN201910369605.0申请日:20190506公开号:CN11166A公开日:20201106
摘要:一种基于磁机电双谐振式的巨磁阻抗磁传感器,由基于多层变截面梭型铁基纳米晶软磁薄膜、第一叠层平面线圈、第二叠层平面线圈、压电/超磁致伸缩层合物阵列和压电梁驱动的MEMS可调电容组成,本发明能有效地将最优工作频率降至MHz以下,并突破了软磁材料的磁导率,通过外部磁场和随磁场变化的磁力,进一步增大了磁畴运动随磁场变化的灵敏度。通过调节直流电压对压电驱动层的输入,以同时引起GMI磁传感器的磁机和电容电感双谐振,进一步提高了探测灵敏度。
申请人:上海交通大学
地址:200240 上海市闵行区东川路800号
国籍:CN
代理机构:上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人:张宁展
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