电子工业专用设备 ·企业之窗· ｒ沈阳芯源孑比量销售到台湾国际一线 大厂的设备全部验收＿＿上 截至２０１６年６月３Ｏ日，沈阳芯源微电子设备 有限公司批量销售到台湾国际一线大厂的３００ ｍｍ （１２英寸）黄光设备已全部验收。 ２０１５年Ｑ４，沈阳芯源通过了台湾大客户的 和售后服务响应能力都得到了极大提升。 沈阳芯源本次提供的批量设备是双机械手４ 腔堆叠式结构，占地小、产能高，能适应多种光刻 胶的涂覆、烘焙和显影。设备用于Ｆａｎ Ｏｕｔ晶圆级 封装工艺生产线。 严苛评估，一次性拿到超过２０台的３００ ｍｍ黄光 设备批量订单，２０１６年１－４月，芯源按客户进度要 求分批出货到客户台湾现场，分批安装调试。现设 备陆续验收后已全部转入批量生产。 芯源设备在与国际大公司的激烈竞争中，拿到 国际一线大厂的批量订单并按期交付、全部顺利验 收，是国产ＩＣ装备的一大突破。通过台湾大客户的 考验和提升，沈阳芯源的批量生产能力、供应链建 设、工艺应用、质量控制、批量设备一致性、稳定性 舢．；屯 ．驰．址Ｊ． 用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突 应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突 破，推出业内首款极致选择性蚀刻工具Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｒｏｄｕｃｅｒ￣ＳｅｌｅｃｔｒａＴＭ系统，通过引入全新的材料工 程能力，助力３Ｄ逻辑芯片和存储芯片的尺寸持 续缩小。 “生产先进芯片的一个重要壁垒是在一个多 层结构芯片中有选择性地清除某一特定材料，而 不破坏其他材料。”应用材料公司副总裁兼选择性 清除产品业务部总经理Ｓｈａｎｋａｒ Ｖｅｎｋａｔａｒａｍａｎ博 士表示，“Ｓｅｌｅｃｔｒａ系统是我们在蚀刻领域中的又 一大创新，丰富了我们的差异化产品线，通过实现 了新的市场机遇。” 极致选择性清除工艺，推动了摩尔定律发展，创造 随着先进微型芯片的结构日益复杂，其深而 企业之窗· ·电子工业专用设备 可用于图案化、逻辑、代工、３Ｄ ＮＡＮＤ及ＤＲＡＭ 等关键蚀刻应用。凭借Ｓｅｌｅｃｔｒａ系统的丰富功能， 芯片制造商能够生产出先进的３Ｄ设备，并探索 新的芯片结构、材料和集成技术。 Ｓｅｌｅｃｔｒａ系统目前已在代工、逻辑和存储芯片 等领域实现量产，随着客户开始生产设计更为先 进的芯片，未来其需求有望进一步增长。 关于应用材料公司 窄的沟槽为芯片制造带来了全新的挑战，例如湿 性化学成分无法穿透微小结构，或是无法在不损 伤芯片的前提下清除不需要的物质。Ｓｅｌｅｃｔｒａ系统 应用材料公司（纳斯达克：ＡＭＡＴ）是材料工 程解决方案的领导者，全球几乎每一个新生产的 芯片和先进显示器的背后都有应用材料公司的身 影。凭借在原子级层面的材料改性技术以及将新 技术应用于规模生产的能力，我们助力客户实现 可能。应用材料公司坚信，我们的创新必能驱动先 进科技成就未来。欲知详情，请访问、）ｎⅣ、Ⅳ．ａＤ． ｐｌｉｅｄｍａｔｅｒｉａｌｓ．ｃｏｍ。 的革命性工艺可进入极狭小的空间，从而实现前 所未有的选择性材料清除和原子级的蚀刻精准 性，适用于各类电介质、金属和半导体薄膜。其广 泛的工艺范围以及精确控制无残留物和无损伤材 料清除的能力，显著扩大了蚀刻技术的应用范围， ．址 ．Ｓ ｔ Ｓｅｍ １ ４０，，项目依托“学习 型工厂”强化欧洲经 ｊ 由英飞凌奥地利工厂负责的研究项目Ｓｅ． ｍＩ４０（“功率半导体和电子制造４．０”）于近日启 动。在该项目中，来自５个国家的３７家合作伙伴 重点关注”欧洲制造”的两个方面 Ｓｅｍｉ４０在未来３年将专注于“智能制造”和 “网络物理生产系统”，其中，数据资料的通讯安全 在工厂内外都发挥着关键作用。在这方面，该项目 的目标是开发相关工艺流程，确保全球联网系统 之间的安全通信。这些系统的特性各不相同，譬 如，在使用年限、操作系统或接口等方面。安全通 信系统能够尽早查明恶意软件造成的风险，所以 能大幅降低它们对生产的潜在影响。 另一个重点在于开发动态模拟系统。这样就 将合作开展研究，进一步发展自动化工厂。其共同 目标为迈入工业４．０应用发展的新阶段。该研究 项目的预算高达６ ２００万欧元，是欧洲最大的工 业４．０项目之一。 英飞凌奥地利工厂首席执行官Ｓａｂｉｎｅ Ｈｅｒ１． ｉｔｓｃｈｋａ表示：“该项目将为改善欧洲的生产和保障 就业岗位做出巨大贡献，从而有助于增强欧盟各 国的企业地位和技术优势。通过这项跨国合作计 划，所有合作伙伴都将获利，并带来诸多竞争优 势。”身为奥地利工业４．０发展的先驱，英飞凌科 技股份公司将为该项目贡献大量专业知识。位于 能更精确和高效地规划生产，同时使质量、产能利 用率和生产周期得以提高或改进。 生产过程中的决策往往是基于固定模式的例 行决定。将来的系统能够更好地白行做出这些决 策——自动完成并达到恒定的质量水平。这样，操 作人员就不需要费时执行这些例行工作，而是有 奥地利菲拉赫的“工业４．０实验室”（Ｐｉｌｏｔ Ｒｏｏｍ Ｉｎｄｕｓｔｒｙ ４．０）可为在实际生产中尝试全新制造工 艺提供理想的环境。 更多时间完成复杂的任务。