一种靶材结构的制作方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种靶材结构的制作方法专利类型：发明专利

发明人：姚力军,潘杰,王学泽,袁海军申请号：CN201010524411.2申请日：20101028公开号：CN101956167A公开日：20110126

摘要：一种靶材结构的制作方法，所述方法包括：提供靶材，所述靶材为铬或者铬合金；对所述靶材表面进行活化处理；用化学镀工艺，在活化处理后的靶材焊接面上形成金属镀层；将化学镀处理后的靶材焊接至背板。在铬或者铬合金靶材的焊接面上化学镀形成金属镀层，利用金属镀层作为中间媒介，使得靶材与背板焊接后实现二者的牢固结合，具有较高的结合强度。本发明摸索出了一条稳定的在铬或者铬合金靶材的表面用化学镀方法镀金属层的工艺流程，并实现了工业化生产。

申请人：宁波江丰电子材料有限公司

地址：3100 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：骆苏华

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