带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座[实用新型专利]

*CN202730298U*

(10)授权公告号 CN 202730298 U(45)授权公告日 2013.02.13

(12)实用新型专利

(21)申请号 201220397430.8(22)申请日 2012.08.10

(73)专利权人杭州慧翔电液技术开发有限公司

地址310030 浙江省杭州市西湖区西湖科技

园西园一路16号钱江奔腾科技五号楼四楼

专利权人浙江晶盛机电股份有限公司(72)发明人朱亮 王巍 孙明 郭建宇

周建灿(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公

司 33212

代理人周世骏(51)Int.Cl.

C30B 15/00(2006.01)

权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 2 页权利要求书1页 说明书2页 附图2页

()实用新型名称

带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座(57)摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座。该设备包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。本实用新型通过对传统翻板阀增加气动执行装置，使得操作方便，实现自动化。CN 202730298 UCN 202730298 U

权 利 要 求 书

1/1页

1.一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；其特征在于，还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。

2.根据权利要求1所述的隔离阀座，其特征在于，所述翻板阀的操作杆上设有用于传达气缸位置信息的滚珠开关。

3.根据权利要求1所述的隔离阀座，其特征在于，所述调节座和气缸基座上分别设有用于活动调节的弧形开槽，调节座通过螺钉与气缸支点连接，气缸基座通过螺钉与调节座连接。

4.根据权利要求1所述的隔离阀座，其特征在于，所述操纵杆设有一条开圆孔的槽，用于固定夹紧翻板阀轴。

5.根据权利要求1所述的隔离阀座，其特征在于其特征在于，所述翻板阀的翻转角度在0～120°之间。

2

CN 202730298 U

说 明 书

带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座

1/2页

技术领域

本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，主要用于隔离阀板开关实现自动操作，动力

源为压缩空气。

[0001]

背景技术

直拉硅单晶炉中段设有一个隔离阀座，隔离阀座内设有翻板阀，主要用于隔离主

炉室和副炉室，实现两个炉室不同的工作要求。传统的翻板阀主要是通过操纵杆手动控制打开和关闭，操作不方便，为了解决这方面的不足，本专利在原有翻板阀的基础上增加一套气动执行装置，使其实现自动化。

[0002]

实用新型内容

[0003] 本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座。[0004] 为解决技术问题，本实用新型的方案是：

[0005] 提供一种带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座和设于隔离阀座内的翻板阀，翻板阀连接于操作杆；还包括气缸及电磁换向阀；所述隔离阀座外侧设气缸支点，气缸的无杆侧端盖通过气缸基座和调节座连接于气缸支点，气缸活塞杆的端部通过关节轴承连接至操作杆；在气缸的无杆侧设有上节流阀，另一侧设有下节流阀，上节流阀和下节流阀分别通过上气管和下气管连接至电磁换向阀，电磁换向阀上设总进气管和排气口。

[0006] 作为一种改进，所述翻板阀的操作杆上设有用于传达气缸位置信息的滚珠开关。[0007] 作为一种改进，所述调节座和气缸基座上分别设有用于活动调节的弧形开槽，调节座通过螺钉与气缸支点连接，气缸基座通过螺钉与调节座连接。[0008] 作为一种改进，所述操纵杆设有一条开圆孔的槽，用于固定夹紧翻板阀轴。[0009] 作为一种改进，所述翻板阀的翻转角度在0～120°之间。[0010] 本实用新型的有益效果是：

[0011] 通过对传统翻板阀增加气动执行装置，使得操作方便，实现自动化。附图说明

图1为气动翻板阀关闭时的示意图；[0013] 图2为图1的左侧视图；

[0014] 图3为气动翻板阀打开时的示意图；[0015] 图4为图3的左侧视图。

[0012]

附图标记：1隔离阀座，2气缸，3上节流阀，4上气管，5电磁换向阀，6总进气管，7

下气管，8下节流阀，9操纵杆，10关节轴承，11翻板阀，12滚珠开关,13气缸支点，14调节座，15气缸基座。

[0016]

3

CN 202730298 U

说 明 书

2/2页

具体实施方式

[0017] 下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细表述。[0018] 本实用新型中带气动执行装置的直拉硅单晶炉隔离阀座，包括隔离阀座1和设于隔离阀座1内的翻板阀11，翻板阀11的翻转角度在0～120°之间；翻板阀11连接于操作杆9，操作杆9上设有用于传达气缸位置信息的滚珠开关12，操纵杆设有一条开圆孔的槽，用于固定夹紧翻板阀轴。

[0019] 气动执行装置还包括气缸2及电磁换向阀5，电磁换向阀5通过控制进出气流的交换，达到活塞杆伸缩的效果。所述隔离阀座1外侧设气缸支点13，气缸2的无杆侧端盖通过气缸基座15和调节座14连接于气缸支点13，气缸活塞杆的端部通过关节轴承10连接至操作杆9，气缸通过活塞杆的伸缩来控制操纵杆9的摆动，执行翻板阀11的打开和关闭；在气缸2的无杆侧设有上节流阀3，另一侧设有下节流阀8，上节流阀3和下节流阀8分别通过上气管4和下气管7连接至电磁换向阀5，电磁换向阀5上设总进气管6和排气口。各节流阀与气缸2螺纹密封连接，通过管路与电磁换向阀5连接，可以用来调节翻板阀11打开和关闭的速度快慢。

[0020] 调节座14和气缸基座15上分别设有用于活动调节的弧形开槽，调节座14通过螺钉与气缸支点13连接，气缸基座15通过螺钉与调节座14连接。[0021] 在安装时，可以用调节座14和气缸基座15调节合适支点位置；执行翻板阀11打开和关闭动作时可利用气缸2、关节轴承10、操纵杆9与翻板阀11的联动力传递实现；控制翻板阀11的运动快慢可通过调节上节流阀3和下节流阀8实现；控制翻板阀11打开或关闭可通过控制电磁换向阀实现；滚珠开关12用于传达气缸的位置信息，并指示翻板阀打开关闭。

[0022] 用于隔离阀座实现气动翻板的装置使用方法包括:[0023] 需要对主炉室和副炉室进行隔离时，需要关闭翻板阀11，首先由滚珠开关12将气缸的位置信息反馈给控制柜，判断翻板阀11是打开状态还是关闭状态，确定是打开状态时，指示可以进行翻板阀11的关闭操作，气体从总进气管6进入，气压大于0.7MPa,气体进过电磁换向阀5，使气流从上气管4进，再经过上节流阀3到达气缸2上端，使气杆向下运动通过关节轴承10推动操纵杆9从而使翻板阀11从打开状态向下运动，实现关闭状态。气杆向下运动的同时，气缸2下端的气体通过下节流阀8再经过下气管7从电磁换向阀5处排出。需要打开翻板阀11时，首先由滚珠开关12将气缸的位置信息反馈给控制柜，判断翻板阀11是打开状态还是关闭状态，确定是关闭状态时，指示可以进行翻板阀11的打开操作，气体从总进气管6进入，气压大于0.7MPa,气体进过电磁换向阀5，使气流从下气管7进，再经过下节流阀8到达气缸2下端，使气杆向上运动通过关节轴承10提升操纵杆9从而使翻板阀11从关闭状态向上运动，实现打开状态。气杆向上运动的同时，气缸2上端的气体通过上节流阀3再经过上气管4从电磁换向阀5处排出。

4

CN 202730298 U

说 明 书 附 图

1/2页

图1

图2

5

CN 202730298 U

说 明 书 附 图

2/2页

图3

图4

6