管道防堵装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 210165078 U(45)授权公告日 2020.03.20

(21)申请号 201920426731.0(22)申请日 2019.03.29

(73)专利权人 德淮半导体有限公司

地址 223300 江苏省淮安市淮阴区长江东

路599号(72)发明人 周扬　薛强　刘世振　陈伏宏　

刘家桦　(74)专利代理机构 上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙) 31294

代理人 孙佳胤　陈丽丽(51)Int.Cl.

F16L 55/24(2006.01)

权利要求书1页 说明书4页 附图1页

(54)实用新型名称

管道防堵装置(57)摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种管道防堵装置。所述管道防堵装置包括：转接管道，用于连通相互垂直的第一管道和第二管道，所述第一管道和所述第二管道均用于传输废气；位于转接管道内部的疏通结构，所述疏通结构包括至少一立于所述转接管道内的支架；位于所述转接管道外部的控制器，所述控制器与所述疏通结构连接，用于驱动所述支架沿所述第一管道或所述第二管道的轴向方向进行往复运动，以避免所述废气中的颗粒物在所述转接管道内沉积。本实用新型避免了转接管道内部出现颗粒物堆积，降低了用于排出废气的管路系统发生堵塞的概率，有效避免了产品报废和设备损坏情况的发生。

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权　利　要　求　书

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1.一种管道防堵装置，其特征在于，包括：转接管道，用于连通相互垂直的第一管道和第二管道，所述第一管道和所述第二管道均用于传输废气；

位于转接管道内部的疏通结构，所述疏通结构包括至少一立于所述转接管道内的支架；

位于所述转接管道外部的控制器，所述控制器与所述疏通结构连接，用于驱动所述支架沿所述第一管道或所述第二管道的轴向方向进行往复运动，以避免所述废气中的颗粒物在所述转接管道内沉积。

2.根据权利要求1所述的管道防堵装置，其特征在于，所述控制器包括步进电机；所述步进电机的伸缩杆自所述转接管道外部延伸至所述转接管道内部，且与所述支架连接。

3.根据权利要求2所述的管道防堵装置，其特征在于，所述疏通结构包括沿沿其往复运动方向排布的第一支架和第二支架，且所述第一支架与所述第二支架通过至少一连接杆连接；所述伸缩杆连接所述第一支架。

4.根据权利要求3所述的管道防堵装置，其特征在于，所述第一支架与所述第二支架均为U型支架，且所述第一支架的尺寸大于所述第二支架。

5.根据权利要求4所述的管道防堵装置，其特征在于，所述第一支架的U型开口方向与所述第二支架的U型开口方向相同，且所述第一支架的中心沿其往复运动方向的投影与所述第二支架的中心重合。

6.根据权利要求5所述的管道防堵装置，其特征在于，所述疏通结构包括三个所述连接杆，且每个所述连接杆的一端连接所述第一支架、另一端连接所述第二支架。

7.根据权利要求1所述的管道防堵装置，其特征在于，所述支架与所述转接管道的管壁之间具有一间隙。

8.根据权利要求7所述的管道防堵装置，其特征在于，所述间隙的宽度大于0且小于或等于1mm。

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说　明　书管道防堵装置

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技术领域

[0001]本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种管道防堵装置。

背景技术

[0002]随着智能手机、平板电脑等移动终端向小型化、智能化、节能化的方向发展，芯片的高性能、集成化趋势明显，促使芯片制造企业积极采用先进工艺，对制造出更快、更省电的芯片的追求愈演愈烈。尤其是许多无线通讯设备的主要元件需用40nm以下先进半导体技术和工艺，因此对先进工艺产能的需求较之以往显著上升，带动集成电路厂商不断提升工艺技术水平，通过缩小晶圆水平和垂直方向上的特征尺寸以提高芯片性能和可靠性，以及通过3D结构改造等非几何工艺技术和新材料的运用来影响晶圆的电性能等方式，实现硅集成的提高，以迎合市场需求。然而，这些技术的革新或改进都是以晶圆的生成、制造为基础。[0003]在半导体制程中，经常会产生具有可燃性、爆炸性及腐蚀性等的有害废气及颗粒物，这些废气会经管路抽送至尾气处理装置进行处理。然而，在用于连接两个管道的转接管道部位，受转接管道结构(例如直角结构或者两端大小尺寸不一致)的影响，废气及颗粒物极易在这些位置堆积，从而直接影响管路系统抽气的速率，严重时甚至会引起管路的完全堵塞，最终导致产品的报废和设备的损害。[0004]因此，如何防止管路系统堵塞，避免产品报废和设备损坏，是目前亟待解决的技术问题。

实用新型内容

[0005]本实用新型提供一种管道防堵装置，用于解决现有技术中排气管路容易堵塞的问题，以避免产品报废和设备损坏。[0006]为了解决上述问题，本实用新型提供了管道防堵装置，包括：[0007]转接管道，用于连通相互垂直的第一管道和第二管道，所述第一管道和所述第二管道均用于传输废气；

[0008]位于转接管道内部的疏通结构，所述疏通结构包括至少一立于所述转接管道内的支架；

[0009]位于所述转接管道外部的控制器，所述控制器与所述疏通结构连接，用于驱动所述支架沿所述第一管道或所述第二管道的轴向方向进行往复运动，以避免所述废气中的颗粒物在所述转接管道内沉积。[0010]优选的，所述控制器包括步进电机；所述步进电机的伸缩杆自所述转接管道外部延伸至所述转接管道内部，且与所述支架连接。[0011]优选的，所述疏通结构包括沿沿其往复运动方向排布的第一支架和第二支架，且所述第一支架与所述第二支架通过至少一连接杆连接；所述伸缩杆连接所述第一支架。[0012]优选的，所述第一支架与所述第二支架均为U型支架，且所述第一支架的尺寸大于所述第二支架。

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优选的，所述第一支架的U型开口方向与所述第二支架的U型开口方向相同，且所

述第一支架的中心沿其往复运动方向的投影与所述第二支架的中心重合。[0014]优选的，所述疏通结构包括三个所述连接杆，且每个所述连接杆的一端连接所述第一支架、另一端连接所述第二支架。[0015]优选的，所述支架与所述转接管道的管壁之间具有一间隙。[0016]优选的，所述间隙的宽度大于0且小于或等于1mm。[0017]本实用新型提供的管道防堵装置，通过使用具有疏通结构的转接管道来连通相邻的两根废气传输管道，且利用位于所述转接管道外部的控制器驱动所述疏通结构中的支架沿两根废气传输管道中的一根的轴向方向往复运动，从而去除所述转接管道内部的沉积物，避免了转接管道内部出现颗粒物堆积，降低了用于排出废气的管路系统发生堵塞的概率，有效避免了产品报废和设备损坏情况的发生。附图说明

[0018]附图1是本实用新型具体实施方式中管道防堵装置在第一状态时的结构示意图；[0019]附图2是本实用新型具体实施方式中管道防堵装置在第二状态时的结构示意图。具体实施方式

[0020]下面结合附图对本实用新型提供的管道防堵装置及排气管路的具体实施方式做详细说明。

[0021]本具体实施方式提供了一种管道防堵装置，附图1是本实用新型具体实施方式中管道防堵装置在第一状态时的结构示意图，附图2是本实用新型具体实施方式中管道防堵装置在第二状态时的结构示意图。如图1、图2所示，本具体实施方式提供的管道防堵装置包括：

[0022]转接管道10，用于连通相互垂直的第一管道11和第二管道12，所述第一管道11和所述第二管道12均用于传输废气；

[0023]位于转接管道10内部的疏通结构，所述疏通结构包括至少一立于所述转接管道内的支架；

[0024]位于所述转接管道10外部的控制器，所述控制器与所述疏通结构连接，用于驱动所述支架沿所述第一管道11或所述第二管道12的轴向方向进行往复运动，以避免所述废气中的颗粒物在所述转接管道10内沉积。[0025]图1、图2中的箭头方向表示管路系统排气时废气的流向。具体来说，所述第一管道11沿竖直方向(即Y轴方向)延伸，所述第二管道12沿与竖直方向垂直的水平方向延伸(即X轴方向)，所述转接管道10为L型转接管道(即直角转接管道)。当采用包括所述第一管道11、所述第二管道12和连通所述第一管道11和所述第二管道12的转接管道10的管路系统排出反应腔室内的废气时，通过所述控制器驱动所述支架沿所述第一管道11或所述第二管道12的轴向方向进行往复运动，例如沿所述第二管道12的轴向方向(即图1和图2中的X轴方向)往复运动，从图1位置运动到图2位置再回复至第一位置，如此往复，一方面有助于分散所述废气中的颗粒物，避免所述颗粒物在所述转接管道10内沉积；另一方面还有助于分散已聚集于所述转接管道10内的颗粒物，分散后的颗粒物可以被废气带出，从而起到疏通所述转

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接管道10的作用。上述两方面都能够有效避免所述转接管道10的堵塞。而转接管道位置是管路系统中最易发生堵塞的位置，通过所述疏通结构和所述控制器的分散、疏通，可以确保整个废气排出管路的畅通，防止了产品报废和设备损坏的情况发生。[0026]所述支架可以在所述转接管道10内持续运动，也可以设置一固定的运动频率，周期性的对所述转接管道10进行疏通。本领域技术人员可以通过所述控制器对所述支架的运动进行灵活调整。

[0027]所述支架的材质优选为表面涂布有抗腐蚀涂层的不锈钢材料，以提高所述管道防堵装置的使用寿命。[0028]优选的，所述控制器包括步进电机14；所述步进电机14的伸缩杆141自所述转接管道10外部延伸至所述转接管道10内部，且与所述支架连接。通过所述步进电机14的所述伸缩杆141伸缩运动带动所述疏通结构的所述支架往复运动，有助于更好的控制、调节所述支架运动的频率，提高了所述管道防堵装置的使用灵活性。[0029]同时，本具体实施方式还可以在所述转接管道10中设置用于所述疏通结构进出的开口和用于密封所述开口的挡板，并在所述挡板中设置用于所述伸缩杆141穿过的通孔。便于将所述疏通结构取出并清理，以确保所述疏通结构的性能，以及提高所述管道防堵装置的使用寿命。

[0030]优选的，所述疏通结构包括沿其往复运动方向排布的第一支架131和第二支架132，且所述第一支架131与所述第二支架132通过至少一连接杆133连接；所述伸缩杆141连接所述第一支架131。[0031]优选的，所述第一支架131与所述第二支架132均为U型支架，且所述第一支架131的尺寸大于所述第二支架132。[0032]具体来说，以所述支架沿所述第二管道12的轴向方向(即图1和图2中的X轴方向)往复运动为例。所述第一支架131与所述第二支架132沿X轴方向排布，所述连接杆为刚性连接杆。当所述步进电机14驱动所述伸缩杆141进行伸缩运动时，一方面，所述伸缩杆141带动(推动或者拉动)所述第一支架131沿X轴方向往复运动；另一方面，所述第一支架131通过刚性的所述连接杆带动所述第二支架132也沿X轴方向往复运动。两个支架的往复运动可以进一步分散所述废气中的颗粒物，也可以更高效的分散已经聚集在所述转接管道10内的颗粒物，提高了所述管道防堵装置的防堵效果。[0033]优选的，所述第一支架131的U型开口方向与所述第二支架132的U型开口方向相同，且所述第一支架131的中心沿其往复运动方向的投影与所述第二支架132的中心重合。[0034]优选的，所述疏通结构包括三个所述连接杆133，且每个所述连接杆133的一端连接所述第一支架131、另一端连接所述第二支架132。[0035]通过设置三根所述连接杆133，可以确保所述第一支架131与所述第二支架132支架连接的稳定性，确保所述第一支架131与所述第二支架132能够同步进行往复运动。[0036]本具体实施方式中所述第一支架131和所述第二支架132的U型开口、相邻所述连接杆133之间的间隙区域都允许所述废气流通，并不会对管路系统正常的排气造成影响。[0037]在其他具体实施方式中，也可以将所述连接杆133设置为伸缩式连接杆，以便于在不适用所述管道防堵装置疏通管路时，通过所述连接杆133的回缩，将所述第一支架131和所述第二支架132收纳、叠置于所述伸缩杆141的末端；而在使用所述第一支架131和所述第

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二支架132疏通管路时，通过所述连接杆133的伸展，拉长所述第一支架131与所述第二支架132之间的距离。[0038]优选的，所述支架与所述转接管道10的管壁之间具有一间隙w。[0039]优选的，所述间隙w的宽度大于0且小于或等于1mm。[0040]具体来说，所述伸缩杆141自外部从所述转接管道10的端部延伸至所述转接管道10的内部，为了确保所述伸缩杆141与所述第一支架131之间连接的稳定性，所述伸缩杆141与所述第一支架131可以采用螺接或者焊接的方式连接。本具体实施方式中，所述伸缩杆141与所述第一支架131的一侧连接。在其他具体实施方式中，所述伸缩杆141也能够通过一连接件与所述第一支架131的相对两侧同时连接，以确保所述第一支架131整体受力的均匀性。所述连接件可以为但不限于┏┓型连接件。

[0041]本具体实施方式通过所述伸缩杆141支撑所述第一支架131、所述连接杆133和所述第二支架132，使得所述第一支架131、所述连接杆133和所述第二支架132悬于所述转接管道10内，避免所述第一支架131、所述连接杆133和所述第二支架132与所述转接管道10的内壁接触，从而防止对所述转接管道10的内壁造成损伤，提高所述管道防堵装置的使用寿命；同时，还能确保所述第一支架131和所述第二支架132顺畅、自由的在所述转接管道10内进行往复运动。

[0042]本具体实施方式提供的管道防堵装置，通过使用具有疏通结构的转接管道来连通相邻的两根废气传输管道，且利用位于所述转接管道外部的控制器驱动所述疏通结构中的支架沿两根废气传输管道中的一根的轴向方向往复运动，从而去除所述转接管道内部的沉积物，避免了转接管道内部出现颗粒物堆积，降低了用于排出废气的管路系统发生堵塞的概率，有效避免了产品报废和设备损坏情况的发生。[0043]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

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