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大口径光学元件的中频误差检测系统及实验室

来源：爱问旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN201820028451.X （22）申请日 2018.01.08 （71）申请人浙江大学

地址 310000 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

（10）申请公布号 CN207850322U

（43）申请公布日 2018.09.11

（72）发明人周骧东;黄潇;白剑;赵磊;罗宇鹏

（74）专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人郭新娟

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

大口径光学元件的中频误差检测系统及实验室

（57）摘要

本实用新型提供了一种大口径光学元件的

中频误差检测系统及实验室，该系统包括：固定在三维位移台上的图像传感器，分别与图像传感器和三维位移台连接的终端设备，光束产生器，准直扩束器，分束镜和待测元件依次分布在一条水平线上，分束镜的一侧设置有图像传感器，图像传感器能够采集经过待测元件反射的光波波前，生成光强图，并将光强图发送至终端设备；终端设备接收不同位置的光强图，根据不同位置

的光强图输出大口径光学元件的中频误差的检测结果。检测过程不需要产生干涉条纹，系统的内部结构简单，无需精密的参考光路，成本低，并且不受外界环境的干扰，缓解了现有的白光干涉显微测量系统结构复杂、受环境干扰严重、检测成本高的技术问题。

法律状态

法律状态公告日2018-09-11

法律状态信息

授权

法律状态

授权

权利要求说明书

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说明书

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