一种无损检测环形内壁表面的装置[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种无损检测环形内壁表面的装置专利类型：实用新型专利发明人：赵建林,邸江磊,孙伟伟申请号：CN200920245344.3申请日：20091119公开号：CN201795994U公开日：20110413

摘要：本实用新型涉及一种光学无损检测环形内壁表面的装置，其特征在于：在被测环形内壁的轴线上依设置细玻璃棒、扩束装置、剪切元件、成像装置、线阵CCD和旋转台；剪切元件成像装置、和线阵CCD固定在旋转台上，且线阵CCD的主光轴与旋转轴重合；细玻璃棒设置在环形内壁轴线距环形内壁中心小于200mm的位置，并平行于环形内壁轴线放置；激光器的光轴与玻璃棒的中心轴线呈0.01°～20°角度放置；线阵CCD采集的图像信号输出至计算机，计算机的控制信号输出至旋转台控制旋转台的旋转。利用线阵CCD推扫，根据待测样品表面设计的微位移平台的移动轨道，沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象，提高了缺陷检测的灵敏度。

申请人：西北工业大学

地址：710072 陕西省西安市友谊西路127号

国籍：CN

代理机构：西北工业大学专利中心

代理人：王鲜凯

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