专利名称：等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法专利类型：发明专利发明人：李财,袁群艺,倪图强申请号：CN201310332796.6申请日：20130801公开号：CN104347338A公开日：20150211
摘要：本发明等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法，通过增加一冷却液处理单元，其包括位于供液管道和/或回液管道上的一个或多个控制阀，用于当第一隔离装置关闭时，通过一个或多个控制阀的启闭配合，以去除冷却液通道、供液管道和/或回液管道中的残留冷却液。因此，本发明等离子体处理装置的冷却液处理系统及方法，在不对原有设备装置产生大的改动情况下，能预先去除冷却液通道、供液管道和/或回液管道中的冷却液，便于维修或更换等离子体处理装置的冷却系统部件，不仅避免了冷却液的外漏及能量的浪费，还营造了整洁的工作环境，提高了生产效率。
申请人：中微半导体设备(上海)有限公司
地址：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
国籍：CN
代理机构：上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容