专利名称：一种钛酸锶表面电子气PN结的制备方法专利类型：发明专利发明人：姜昱丞,贺安鹏申请号：CN201911061487.3申请日：20191101公开号：CN110828316A公开日：20200221
摘要：本发明公开了一种钛酸锶表面电子气PN结的制备方法，属于材料技术领域。本发明在钛酸锶基片表面沉积或粘贴P型材料，利用光刻技术将P型材料表面的部分面积用光刻胶覆盖，用离子束将未被光刻胶覆盖的P型材料全部刻蚀掉后，再经刻蚀钛酸锶衬底使其表面形成钛酸锶表面电子气，最后用丙酮、酒精、去离子水去除光刻胶后，即可获得钛酸锶表面电子气与P型材料的PN结。本发明提供了一种简易、普适性的方法用于构建钛酸锶表面电子气与P型材料的PN结。
申请人：苏州科技大学
地址：215011 江苏省苏州市苏州高新区科锐路1号
国籍：CN
代理机构：苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人：陶海锋
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