一种真空样品台[实用新型专利]

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专利名称：一种真空样品台专利类型：实用新型专利发明人：王燕东,王文冲,迟力峰申请号：CN201920916702.2申请日：20190618公开号：CN2105183U公开日：20200519

摘要：一种真空样品台，包括真空腔、样品放置台、伸缩杆、磁耦合驱动装置和真空泵系统，其特征在于，所述伸缩杆套接于所述磁耦合驱动装置内，所述磁耦合驱动装置于所述真空腔的侧壁密封连接，所述伸缩杆远离所述磁耦合驱动装置的一端设置有所述样品放置台，远离所述磁耦合驱动装置一端的所述真空腔侧壁设有可开闭的密封门，所述伸缩杆通过所述磁耦合驱动装置的控制伸缩和旋转，并且可通过所述密封门伸出所述真空腔，所述真空腔顶部设有观察窗，所述抽空装置设于所述真空腔侧壁。

申请人：苏州驰鸣纳米技术有限公司

地址：215000 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号B07楼327-6单元

国籍：CN

代理机构：宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：陈栋

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