专利名称：氧化铟－氧化锡粉体和利用该粉体的溅射靶专利类型：发明专利发明人：高桥诚一郎,渡边弘申请号：CN200480041061.7申请日：20041224公开号：CN1906130A公开日：20070131
摘要：本发明提供了能够以低成本生产的氧化铟－氧化锡粉体，且该粉体能够提供具有延长靶寿命的高密度溅射靶，并且提供了利用该粉体的溅射靶。包含In－Sn氧化物作为主要成分的氧化铟－氧化锡粉体，其特征在于该氧化物粉体不包含可通过X射线衍射检测出的复合氧化物(InSnO)，并且在InO中具有2.3质量％或更大的SnO固溶量，该SnO固溶量是根据InO (222)的积分衍射强度与SnO(110)的积分衍射强度的比值得到的析出SnO含量(质量％)计算得到。
申请人：三井金属矿业株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：蔡胜有
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