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低压扩散炉低压扩散工艺

来源：爱问旅游网

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201811131609.7 （22）申请日 2018.09.27

（71）申请人嘉兴金瑞光伏科技有限公司

地址 314000 浙江省嘉兴市平湖市林埭镇保丰村01省道170号

（10）申请公布号 CN109285766A

（43）申请公布日 2019.01.29

（72）发明人张育

（74）专利代理机构嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)

代理人程开生

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

低压扩散炉低压扩散工艺

（57）摘要

本发明公开了一种低压扩散炉低压扩散工

艺，包括以下步骤。步骤S1：将已制绒的待处理硅片匀速推入低压扩散炉，在持续通入大氮的同时将低压扩散炉内的第一至第五温度区域升温至第一预定温度。步骤S2：维持第一至第五温度区域在第一预定温度的同时将低压扩散炉抽空至真空。步骤S3：维持第一至第五温度区域在第一预定温度的同时持续通入大氮。步骤S4：维持第一至第五温度区域在第一预定温度的同时将低压扩

散炉抽空至真空。本发明公开的低压扩散炉低压扩散工艺，其有益效果在于，通过巧妙设置恒压、扩散、升降温等工段，提高待处理硅片的加工质量和加工效率，同时减少废片比例。

法律状态

法律状态公告日

2019-01-29 2019-01-29 2019-03-01

法律状态信息

公开公开

实质审查的生效

法律状态

公开公开

实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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