一种精密直线位移台的五自由度误差测量装置[发明专利]

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专利名称：一种精密直线位移台的五自由度误差测量装置专利类型：发明专利

发明人：赵会宁,于连栋,贾华坤,陆洋,蒲松申请号：CN201910734340.X申请日：20190809公开号：CN110345870A公开日：20191018

摘要：本发明公开一种精密直线位移台的五自由度误差测量装置，包括精密直线位移台、五自由度误差测量单元（1）和垂直反射镜（2），所述垂直反射镜（2）放置于五自由度误差测量单元（1）相互垂直的凹陷处；所述五自由度误差测量单元（1）包括三自由度误差测量单元一（101）和三自由度误差测量单元二（102），所述三自由度误差测量单元一（101）和三自由度误差测量单元二（102）通过连接件（103）固定连接；所述垂直反射镜（2）包括方箱（201），所述方箱（201）的侧面上粘接有相互垂直的平面反射镜一（202）和平面反射镜二（203）；所述五自由度误差测量单元（1）与精密直线位移台的滑台固定连接，所述精密直线位移台的基座与垂直反射镜（2）固定连接。

申请人：合肥工业大学

地址：230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号合肥工业大学南校区

国籍：CN

代理机构：北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：张亮保

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