形状测定装置及形状测定方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：形状测定装置及形状测定方法专利类型：发明专利发明人：植木伸明

申请号：CN2015800614.9申请日：20151030公开号：CN107003113A公开日：20170801

摘要：本发明提供一种能够以最小的测定阶数高精度地测定透镜面的整体形状的形状测定装置及形状测定方法。本发明的一方式所涉及的形状测定装置获取按每一个区域测定包括透镜面的面中心的第1区域的形状及一部分与第1区域重合且包括透镜面的外周部的一部分的第2区域的形状而得的形状测定结果。将第2区域的形状测定结果通过以面中心作为中心具有旋转对称性的配置在透镜面配置多个，并对配置有多个的第2区域的形状测定结果实施开口合成处理。对通过开口合成处理得到的形状进行拟合运算，从而运算透镜面的旋转对称成分。对第1区域的形状测定结果进行拟合运算，从而运算透镜面的旋转非对称成分。根据第1运算部及第2运算部的运算结果运算透镜面的整体形状。

申请人：富士胶片株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：北京三友知识产权代理有限公司

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