专利名称：主动式激光位移传感器专利类型：发明专利发明人：陈秋水,陈仲裕申请号：CN91107536.4申请日：19911122公开号：CN1072773A公开日：19930602
摘要：本发明是一种用于物体位移测量的主动式激光 位移传感器。它由光源系统、偏光干涉系统、伺服调 焦物镜、焦点检测器和光电接收系统五大部分所构 成。由于本发明采用了非接触被测物体表面、偏光干 涉、焦点扫描和伺服调焦技术，所以本发明具有应用 范围广，不仅可以测量软硬材料物体的位移，还可以 测量液体表面，无论是光滑或粗糙的表面均可测量。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市800-211信箱
国籍：CN
代理机构：中国科学院上海专利事务所
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