防腐蚀磁力驱动泵选择型号办法

防腐蚀磁力驱动泵选择型号办法

一、 防腐蚀磁力驱动泵的运转压强应该满足真空机械的极限真空及运转压强需求。如：真空镀膜需求110-5mmHg的真空度，使用的防腐蚀磁力驱动泵的真空度至少要510-6mmHg。通常挑选泵的真空度要高于真空机械真空度半个到一个数量级。 二、准确地挑选防腐蚀磁力驱动泵的运转点。每种泵都有一定的运转压强范畴，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范畴内，泵的抽速随压强而变化，其平稳的运转压强范畴为510-4~510-6mmHg。因而，泵的运转点应该选在这个范畴之内，而不可以让它在10-8mmHg下长时间运转。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下运转，但其运转压强应小于110-5mmHg为好。 三、防腐蚀磁力驱动泵在其运转压强下，应能排走真空机械工艺流程中发生的全部汽体量。 四、准确地组合防腐蚀磁力驱动泵。由于防腐蚀磁力驱动泵有挑选性抽汽，因而，有时使用一种泵不可以满足抽汽需求，需要几点泵组合起来，互相补充才能满足抽汽需求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不可以抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非匀称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便使得真空设备得到较好的真空度。另外，有的防腐蚀磁力驱动泵不可以在大汽压下运转，需要预真空;有的防腐蚀磁力驱动泵出口压强低于大汽压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来应用。 五、真空机械对油污染的需求。若机械严格需求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果需求不严格，可以挑选有油泵，加上一些防油污染工作，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能满足清洁真空需求。 六、知道被抽汽体成分，汽体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。挑选防腐蚀磁力驱动泵时，需要懂得汽体成分，对于被抽汽体挑选相应的泵。如果汽体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性汽体，应该参考在泵的进汽口管线上装配辅助机械，如冷凝器、除尘器等。 七、防腐蚀磁力驱动泵排出来的油蒸汽对环境的影响怎么。如果环境不可以有污染，可以选无油防腐蚀磁力驱动泵，或是把油蒸汽排到室外。 八、防腐蚀磁力驱动泵运转时发生的震动对工艺流程及环境有无影响。若工艺流程不可以，应挑选无震动的泵或是采取防震动工作。