(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111650218 A(43)申请公布日 2020.09.11
(21)申请号 202010602559.7(22)申请日 2020.06.29
(71)申请人 中国电子科技集团公司第十一研究
所
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号(72)发明人 李乾 申晨 王丛 折伟林 刘铭
吴卿 (74)专利代理机构 工业和信息化部电子专利中
心 11010
代理人 张然(51)Int.Cl.
G01N 21/95(2006.01)G01N 21/88(2006.01)G01N 21/01(2006.01)
权利要求书2页 说明书6页 附图1页
CN 111650218 A(54)发明名称
碲锌镉晶体夹杂测试装置及方法(57)摘要
本发明公开了一种碲锌镉晶体夹杂测试装置及方法，碲锌镉晶体夹杂测试装置，包括：3D数控平台，用于放置碲锌镉晶体并自动调整碲锌镉晶体的位置；光源组件，位于3D数控平台的一侧，光源组件用于将波长为λ的近红外光汇聚至3D数控平台上的碲锌镉晶体；观测组件，位于3D数控平台的另一侧，观测组件用于获取碲锌镉晶体各个局部的图像信息，以根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。采用本发明，可以利用3D数控平台对碲锌镉晶体的位置进行自动调整，从而可以通过观测组件对碲锌镉晶体上不同空间位置处的图像信息进行观察，由此可以避免人为调节碲锌镉晶体的位置造成碲锌镉晶体出现观测遗漏区域，从而可以提高测试的准确性。
CN 111650218 A
权 利 要 求 书
1/2页
1.一种碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，包括：3D数控平台，用于放置碲锌镉晶体并自动调整所述碲锌镉晶体的位置；光源组件，位于所述3D数控平台的一侧，所述光源组件用于将波长为λ的近红外光汇聚至所述3D数控平台上的碲锌镉晶体；
观测组件，位于所述3D数控平台的另一侧，所述观测组件用于获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息，以根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。
2.如权利要求1所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，所述光源组件，包括：光源，位于所述3D数控平台的另一侧，所述光源用于发射波长为λ的近红外光；发散镜，位于所述光源与所述3D数控平台之间且与所述光源共轴；聚光镜，位于所述发散镜与所述3D数控平台之间且与所述发散镜共轴。3.如权利要求1所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，所述观测组件，包括：获取组件，位于所述3D数控平台的一侧，所述获取组件用于获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息，以根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况；
透镜锥，位于所述获取组件与所述3D数控平台之间；物镜，位于所述透镜锥与所述3D数控平台之间。4.如权利要求3所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，所述获取组件包括：CCD探测器，用于获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息；计算机，与所述CCD探测器通信连接，所述计算机用于接收所述各个局部的图像信息，并将所述各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像，根据所述3D信息图像确定所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。
5.如权利要求4所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，所述获取组件包括目镜。
6.如权利要求1所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，所述碲锌镉晶体夹杂测试装置，还包括：
激光自动聚焦器，设于所述3D数控平台与所述观测组件之间，所述激光自动聚焦器用于实现所述观测组件的自动聚焦。
7.如权利要求1所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置，其特征在于，0.5μm≤λ≤1.5μm。
8.一种基于权利要求1-7中任一项所述的碲锌镉晶体夹杂测试装置的碲锌镉晶体夹杂测试方法，其特征在于，包括：
将碲锌镉晶体放在3D数控平台上；
通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息；
根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息，包括：
通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的竖直位置；通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的水平位置，并通过观测组件获取所述
2
CN 111650218 A
权 利 要 求 书
2/2页
碲锌镉晶体各个局部的图像信息。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况，包括：
将所述各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像；
根据所述3D信息图像确定所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。
3
CN 111650218 A
说 明 书
碲锌镉晶体夹杂测试装置及方法
1/6页
技术领域
[0001]本发明涉及探测器技术领域，尤其涉及一种碲锌镉晶体夹杂测试装置及方法。背景技术
[0002]在红外半导体材料领域，HgCdTe材料由于本身是一种直接带隙半导体材料且具有可调的禁带宽度、可以覆盖整个红外波段，使其成为一种理想的红外探测器材料。从70年代就开始被广泛应用于制备不同类型的红外探测器，当前已经成为红外探测领域应用最广泛的探测器材料。经过近三十年的不断发展，目前已经能够采用LPE、MOVPE以及MBE等多种方法制备出许多高质量的Hg1-xCdxTe外延薄膜和高性能的红外探测器件。在诸多方法中，LPE技术成本较低，产量较大，处于相对重要的地位。而LPE技术中需要使用优质衬底，国内为红外探测器生产厂家大多选用晶格匹配相对较好的碲锌镉作为衬底。[0003]碲锌镉材料和碲镉汞材料具有一样的闪锌矿晶体结构，通过调整锌组分，两者之间能在晶格上实现完全匹配。而且，碲锌镉材料的禁带宽度大于红外波段的光子能量，对红外光完全透明，使得碲锌镉材料在碲镉汞外延刚开始时就被选为衬底材料，至今仍是制备高性能碲镉汞红外焦平面探测器不可或缺的衬底材料。[0004]作为碲镉汞外延的衬底，碲锌镉材料晶格完整性、晶格匹配度(或失配度)以及晶体中的缺陷都会直接影响到碲镉汞外延材料的晶格完整性和缺陷。与碲镉汞体材料一样，碲锌镉衬底材料同样面临着单晶生长困难、缺陷状态复杂并难以控制的问题。碲锌镉衬底夹杂和沉淀的测试是碲锌镉衬底筛选流程中的必要环节，传统的测试方法操作繁琐且计算不准确，大大减弱了测试的意义。发明内容
[0005]本发明实施例提供一种碲锌镉晶体夹杂测试装置及方法，用以解决现有技术中测试方法操作繁琐且计算不准确的问题。
[0006]根据本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置，包括：[0007]3D数控平台，用于放置碲锌镉晶体并自动调整所述碲锌镉晶体的位置；[0008]光源组件，位于所述3D数控平台的一侧，所述光源组件用于将波长为λ的近红外光汇聚至所述3D数控平台上的碲锌镉晶体；[0009]观测组件，位于所述3D数控平台的另一侧，所述观测组件用于获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息，以根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。
[0010]根据本发明的一些实施例，所述光源组件，包括：[0011]光源，位于所述3D数控平台的另一侧，所述光源用于发射波长为λ的近红外光；[0012]发散镜，位于所述光源与所述3D数控平台之间且与所述光源共轴；[0013]聚光镜，位于所述发散镜与所述3D数控平台之间且与所述发散镜共轴。[0014]根据本发明的一些实施例，所述观测组件，包括：
4
CN 111650218 A[0015]
说 明 书
2/6页
获取组件，位于所述3D数控平台的一侧，所述获取组件用于获取所述碲锌镉晶体
各个局部的图像信息，以根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况；
[0016]透镜锥，位于所述获取组件与所述3D数控平台之间；[0017]物镜，位于所述透镜锥与所述3D数控平台之间。[0018]根据本发明的一些实施例，所述获取组件包括：[0019]CCD探测器，用于获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息；[0020]计算机，与所述CCD探测器通信连接，所述计算机用于接收所述各个局部的图像信息，并将所述各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像，根据所述3D信息图像确定所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。[0021]根据本发明的一些实施例，所述获取组件包括目镜。[0022]根据本发明的一些实施例，所述碲锌镉晶体夹杂测试装置，还包括：[0023]激光自动聚焦器，设于所述3D数控平台与所述观测组件之间，所述激光自动聚焦器用于实现所述观测组件的自动聚焦。[0024]根据本发明的一些实施例，0.5μm≤λ≤1.5μm。
[0025]根据本发明实施例的基于上述的碲锌镉晶体夹杂测试装置的碲锌镉晶体夹杂测试方法，包括：
[0026]将碲锌镉晶体放在3D数控平台上；
[0027]通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息；
[0028]根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。[0029]根据本发明的一些实施例，所述通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息，包括：[0030]通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的竖直位置；[0031]通过所述3D数控平台自动调整所述碲锌镉晶体的水平位置，并通过观测组件获取所述碲锌镉晶体各个局部的图像信息。[0032]根据本发明的一些实施例，所述根据所述各个局部的图像信息分析所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况，包括：
[0033]将所述各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像；
[0034]根据所述3D信息图像确定所述碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。[0035]采用本发明实施例，可以利用3D数控平台对碲锌镉晶体的位置进行自动调整，从而可以通过观测组件对碲锌镉晶体上不同空间位置处的图像信息进行观察，以获取碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况，由此可以避免人为调节碲锌镉晶体的位置造成碲锌镉晶体出现观测遗漏区域，从而可以提高测试的准确性。[0036]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。
5
CN 111650218 A
说 明 书
3/6页
附图说明
[0037]通过阅读下文实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。在附图中：
[0038]图1是本发明实施例中碲锌镉晶体夹杂测试装置结构示意图。
具体实施方式
[0039]下面将参照附图更详细地描述本发明的示例性实施例。虽然附图中显示了本发明的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本发明，并且能够将本发明的范围完整的传达给本领域的技术人员。[0040]如图1所示，根据本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置1，包括：3D数控平台20、光源组件10、以及观测组件30。3D数控平台20用于放置碲锌镉晶体2并自动调整碲锌镉晶体2的位置。可以理解的是，碲锌镉晶体2可以放置在3D数控平台20上，3D数控平台20具有动力装置，如动力马达，可以带动位于3D数控平台20的样品台上的碲锌镉晶体2运动。例如，3D数控平台20可以根据预先设定的程序带动碲锌镉晶体2沿X轴、Y轴、和/或Z轴移动。[0041]如图1所示，光源组件10位于3D数控平台20的一侧，光源组件10用于将波长为λ的近红外光汇聚至3D数控平台20上的碲锌镉晶体2。观测组件30位于3D数控平台20的另一侧，观测组件30用于获取碲锌镉晶体2各个局部的图像信息，以根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况。[0042]可以理解的是，光源组件10与观测组件30位于3D数控平台20的两侧，光源组件10可以将波长为λ的近红外光汇聚至碲锌镉晶体2。观测组件30借助近红外光可以观测碲锌镉晶体2各个区域的特征点。[0043]采用本发明实施例，可以利用3D数控平台20对碲锌镉晶体2的位置进行自动调整，从而可以通过观测组件30对碲锌镉晶体2上不同空间位置处的图像信息进行观察，以获取碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况，由此可以避免人为调节碲锌镉晶体2的位置造成碲锌镉晶体2出现观测遗漏区域，从而可以提高测试的准确性。[0044]在上述实施例的基础上，进一步提出各变型实施例，在此需要说明的是，为了使描述简要，在各变型实施例中仅描述与上述实施例的不同之处。[0045]如图1所示，根据本发明的一些实施例，光源组件10，包括：光源100、发散镜110、以及聚光镜120。光源100位于3D数控平台20的另一侧，光源100用于发射波长为λ的近红外光。发散镜110位于光源100与3D数控平台20之间且与光源100共轴。聚光镜120位于发散镜110与3D数控平台20之间且与发散镜110共轴。[0046]可以理解的是，光源100、发散镜110、以及聚光镜120共轴设置。光源100发射出波长为λ的近红外光后，近红外光会依次穿透发散镜110和聚光镜120形成平行光束照射在碲锌镉晶体2上。
[0047]如图1所示，根据本发明的一些实施例，观测组件30，包括：获取组件、透镜锥310、以及物镜300。获取组件位于3D数控平台20的一侧，获取组件用于获取碲锌镉晶体2各个局部的图像信息，以根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况。透镜
6
CN 111650218 A
说 明 书
4/6页
锥310位于获取组件与3D数控平台20之间。物镜300位于透镜锥310与3D数控平台20之间。[0048]如图1所示，根据本发明的一些实施例，获取组件包括：CCD探测器320和计算机330。CCD探测器320用于获取碲锌镉晶体2各个局部的图像信息。计算机330与CCD探测器320通信连接，计算机330用于接收各个局部的图像信息，并将各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像，根据3D信息图像确定碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况。由此，CCD探测器320可以将碲锌镉晶体2的表面以及内部情况拍摄形成图像并传给计算机330，然后计算机330通过相关处理软件可以对这些拍摄到的图像进行拼接、重构形成反映碲锌镉晶体2夹杂、沉淀情况的3D信息图像，用户可以直接通过3D信息图像观察碲锌镉晶体2夹杂、沉淀情况，也可以通过统计软件计算碲锌镉晶体2夹杂的形状、尺寸、数量和沉淀的形状、尺寸、数量。
[0049]根据本发明的一些实施例，获取组件包括目镜。由此，用户可以通过目镜直接观测碲锌镉晶体2的表面以及内部情况。[0050]如图1所示，根据本发明的一些实施例，碲锌镉晶体夹杂测试装置1，还包括：[0051]激光自动聚焦器40，设于3D数控平台20与观测组件30之间，激光自动聚焦器40用于实现观测组件30的自动聚焦。由此，可以避免用户手动聚焦，简化用户操作。[0052]根据本发明的一些实施例，0.5μm≤λ≤1.5μm。通常情况下，λ的取值为1μm，当然，λ的取值可以1μm附近的一定范围内浮动。
[0053]根据本发明实施例的基于上述的碲锌镉晶体夹杂测试装置1的碲锌镉晶体夹杂测试方法，包括：
[0054]将碲锌镉晶体放在3D数控平台上；
[0055]通过3D数控平台自动调整碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取碲锌镉晶体各个局部的图像信息；
[0056]根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。[0057]采用本发明实施例，可以利用3D数控平台对碲锌镉晶体的位置进行自动调整，从而可以通过观测组件对碲锌镉晶体上不同空间位置处的图像信息进行观察，以获取碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况，由此可以避免人为调节碲锌镉晶体的位置造成碲锌镉晶体出现观测遗漏区域，从而可以提高测试的准确性。[0058]根据本发明的一些实施例，通过3D数控平台自动调整碲锌镉晶体的位置，并通过观测组件获取碲锌镉晶体各个局部的图像信息，包括：
[0059]通过3D数控平台自动调整碲锌镉晶体的竖直位置；[0060]通过3D数控平台自动调整碲锌镉晶体的水平位置，并通过观测组件获取碲锌镉晶体各个局部的图像信息。
[0061]根据本发明的一些实施例，根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况，包括：
[0062]将各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像；[0063]根据3D信息图像确定碲锌镉晶体的夹杂情况和沉淀情况。
[0064]下面参照图1以一个具体的实施例详细描述根据本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置1。值得理解的是，下述描述仅是示例性说明，而不是对本发明的具体限制。凡是采用本发明的相似结构及其相似变化，均应列入本发明的保护范围。
7
CN 111650218 A[0065]
说 明 书
5/6页
碲锌镉衬底夹杂和沉淀的测试是碲锌镉衬底筛选流程中的必要环节，传统的测试
方法问题较多，主要表现在如下方面：(1)需要手动聚焦，操作繁琐；(2)样品台没有坐标，无法对目标物位置进行定位；(3)放大倍数较大，视场较小，样品较大，测试过程中手动移动样品台观测，会造成某些区域的遗漏；(4)对夹杂数量统计、尺寸测量以及密度计算较为繁琐。综合以上问题的存在，会导致夹杂和沉淀的数量和位置的偏差，进而大大减弱测试的意义。[0066]本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置1可以用于检测碲锌镉晶体2夹杂情况，解决传统测试方式所存在的问题。[0067]如图1所示，本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置1包括：3D数控平台20、光源组件10、以及观测组件30。3D数控平台20用于放置碲锌镉晶体2并自动调整碲锌镉晶体2的位置。可以理解的是，碲锌镉晶体2可以放置在3D数控平台20上，3D数控平台20具有动力装置，3D数控平台20可以根据预先设定的程序带动碲锌镉晶体2沿X轴、Y轴、和/或Z轴移动。[0068]如图1所示，光源组件10与观测组件30位于3D数控平台20的两侧，光源组件10可以将波长为λ的近红外光汇聚至碲锌镉晶体2。观测组件30借助近红外光可以观测碲锌镉晶体2各个区域的特征点。通常情况下，λ的取值为1μm，当然，λ的取值可以1μm附近的一定范围内浮动。
[0069]如图1所示，光源组件10包括：光源100、发散镜110、以及聚光镜120。光源100、发散镜110、以及聚光镜120共轴设置。光源100位于3D数控平台20的另一侧，光源100用于发射波长为λ的近红外光。发散镜110位于光源100与3D数控平台20之间。聚光镜120位于发散镜110与3D数控平台20之间。光源100发射出波长为λ的近红外光后，近红外光会依次穿透发散镜110和聚光镜120形成平行光束照射在碲锌镉晶体2上。[0070]如图1所示，观测组件30包括：获取组件、透镜锥310、以及物镜300。获取组件位于3D数控平台20的一侧，获取组件用于获取碲锌镉晶体2各个局部的图像信息，以根据各个局部的图像信息分析碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况。透镜锥310位于获取组件与3D数控平台20之间。物镜300位于透镜锥310与3D数控平台20之间。物镜300的放大倍数可以根据实际观测需求进行选择。[0071]获取组件包括：CCD探测器320和计算机330。CCD探测器320用于获取碲锌镉晶体2各个局部的图像信息。计算机330与CCD探测器320通信连接，计算机330用于接收各个局部的图像信息，并将各个局部的图像信息拼接、重构后形成3D信息图像，根据3D信息图像确定碲锌镉晶体2的夹杂情况和沉淀情况。由此，CCD探测器320可以将碲锌镉晶体2的表面以及内部情况拍摄形成图像并传给计算机330，然后计算机330可以对这些拍摄到的图像进行拼接、重构形成反映碲锌镉晶体2夹杂、沉淀情况的3D信息图像，用户可以直接通过3D信息图像观察碲锌镉晶体2夹杂、沉淀情况，也可以通过软件计算碲锌镉晶体2夹杂的形状、尺寸、数量和沉淀的形状、尺寸、数量。[0072]获取组件还包括目镜。由此，用户可以通过目镜直接观测碲锌镉晶体2的表面以及内部情况。
[0073]碲锌镉晶体夹杂测试装置1，还包括：激光自动聚焦器40，激光自动聚焦器40设于物镜300靠近3D数控平台20一侧，激光自动聚焦器40用于实现观测组件30的自动聚焦。由此，可以避免用户手动聚焦，简化用户操作。
[0074]在利用本发明实施例的碲锌镉晶体夹杂测试装置1对碲锌镉晶体2夹杂进行测试
8
CN 111650218 A
说 明 书
6/6页
的过程包括如下步骤：[0075]步骤A：将碲锌镉晶体放在3D数控平台的样品台上；[0076]步骤B：根据碲锌镉晶体上待测试区域中特征点的尺寸，选择对应的物镜倍数(例如：要观察的是1μm的特征点就选择100X放大倍数的物镜)；[0077]步骤C：根据待测试区域距离碲锌镉晶体上表面的距离，调整3D数控平台的Z轴高度，并根据特征点的尺寸确定对应3D数控平台在Z轴方向移动的精度；[0078]步骤D：通过CDD探测器获取待测试区域的图像信息，并调整3D数控平台在X轴以及Y轴方向上的位置，获取多个局部的图像信息；[0079]步骤E：计算机通过软件对多个局部的图像信息进行拼接，以获得碲锌镉晶体同一高度的形貌信息；[0080]步骤F：利用激光自动聚焦器改变聚焦位置，重复步骤B-步骤E，以获得不同高度的形貌信息，然后通过软件重构技术获得碲锌镉晶体的3D重构图像；[0081]步骤G：基于3D重构图像，利用统计软件对夹杂和沉淀的形状、尺寸、数量进行统计。
[0082]采用本发明实施例具有如下优点：(1)可以自动聚焦；(2)可以利用3D数控平台对不同空间(X、Y、Z)位置的特征点进行记录；(3)可以对晶体测试结果进行拼接、重构，能够直观观察；(4)自动统计功能，对3D重构的结果进行特征点统计，包含尺寸、数量。[0083]需要说明的是，以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。[0084]另外，参考术语“一些实施例”意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。例如，在权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。
[0085]尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
9
CN 111650218 A
说 明 书 附 图
1/1页
图1
10
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容