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利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品[发明专利]

来源：爱问旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及

其制品

专利类型：发明专利

发明人：陈明亿,林文宝,董雪振,邢骏鹏申请号：CN201310737801.1申请日：20131228公开号：CN1031468A公开日：20140319

摘要：本发明提供一种利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品，包括以下步骤：（1）将氧化锌铝残靶粉末、氧化铝粉末和氧化锌粉末按照质量百分比分别为10~50%、1.5~2.7%、48.5~87.3%混合均匀，制成氧化锌铝注浆混合料；（2）以氧化锌铝注浆混合料质量为100%计，向氧化锌注浆混合料中分别添加20~35%水、0.8~2%阿拉伯树胶和0.4~0.6%聚丙烯酸铵；（3）按照现有的靶材生产工艺，制得氧化锌铝靶材。本发明首次将氧化锌铝残靶粉末掺入氧化铝和氧化锌粉末中用来制备氧化锌铝靶材，并通过对氧化锌铝靶材粉末的质量百分比进行优化，制得了符合磁控溅射镀膜要求的氧化锌铝靶材。

申请人：福建省诺希新材料科技有限公司

地址：350300 福建省福州市福清市融侨开发区光电科技园

国籍：CN

代理机构：福州市鼓楼区鼎兴专利代理事务所(普通合伙)

代理人：刘毅峰

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