专利名称：用于针对多个层的对准优化的方法和装置专利类型：发明专利
发明人：M·沃尔斯登,P-E·古斯塔夫森申请号：CN201180014848.4申请日：20110225公开号：CN102959469A公开日：20130306
摘要：一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件（2404）的多个层（L1、L2、L3、L4）的方法，所述工件被设计成具有数量为N的层（L1、L2、L3、L4），且所述工件的层具有图案位置的一个或多个边界条件，该方法包括下列步骤：确定层1到N的边界条件；计算归因于边界条件的偏差；以及计算对加上了归因于边界条件的偏差的所分派部分的第一变换的偏差的补偿。
申请人：密克罗尼克麦达塔公司
地址：瑞典塔比市
国籍：SE
代理机构：北京市铸成律师事务所
代理人：孟锐
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