专利名称:载具专利类型:实用新型专利发明人:孟新水,马洋
申请号:CN201721692015.4申请日:20171207公开号:CN207529060U公开日:20180622
摘要:本实用新型提供了一种载具。该载具包括载物平台,载物平台的表面上开设有支导气槽和主导气槽,载物平台包括样品放置区和围绕样品放置区设置的安全区,支导气槽设置在样品放置区,且主导气槽由安全区延伸至样品放置区并与支导气槽相连通。使得本实用新型提供的载具应用在Open‑Cell与3D Glass全贴合操作时,一方面可以不重复拆装定位块,不影响产能及贴合位置精度;另一方面还能够自动破除产品与载具之间的真空,从而可方便垂直提取产品。
申请人:张家港康得新光电材料有限公司
地址:215634 江苏省苏州市张家港市晨港路85号
国籍:CN
代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司
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