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平整薄膜层喷孔结构制造方法、薄膜层结构及喷墨打印机[发明专利]

来源：爱问旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：平整薄膜层喷孔结构制造方法、薄膜层结构及喷墨

打印机

专利类型：发明专利

发明人：李令英,宋佳丽,谢永林申请号：CN201610120025.4申请日：20160303公开号：CN1056670A公开日：20160615

摘要：本发明公开了一种平整薄膜层喷孔结构的制造方法以及用该方法制造的薄膜层结构，以及包括该薄膜层结构的喷墨打印机，该方法先用牺牲材料制成压力腔外形，然后将薄膜层覆盖在由牺牲材料制成的压力腔外形四周，形成压力腔的墙体和平整顶部，在由薄膜层形成的压力腔顶部上形成喷孔后将牺牲材料去除，形成压力腔，其中的牺牲材料为可湿法释放的无机牺牲材料，薄膜层优选SU-8光刻胶或聚酰亚胺。由于用本发明的方法制造的平整喷孔薄膜层结构的薄膜层整体由有机材料形成，在表面不会形成凹槽，不会造成油墨和其他污染物的累积；压力腔墙体坚固不易损坏。该平整喷孔薄膜层结构的制造方法更利于批量化生产。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州锐发打印技术有限公司

地址：215000 江苏省苏州市工业园区若水路398号

国籍：CN

代理机构：苏州广正知识产权代理有限公司

代理人：于翠环

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