流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方

法

专利类型：发明专利

发明人：松浦和宏,高仓洋,古川幸正,安田忠弘申请号：CN201110319279.6申请日：20111019公开号：CN1025509A公开日：20120711

摘要：本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3)，所述MFC(2)包括：流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1)，该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据，该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算，所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据，并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和所述流量计算相关数据进行流量计算。

申请人：株式会社堀场STEC

地址：日本京都府

国籍：JP

代理机构：北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

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