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流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法[发明专利]

来源:爱问旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方

专利类型:发明专利

发明人:松浦和宏,高仓洋,古川幸正,安田忠弘申请号:CN201110319279.6申请日:20111019公开号:CN1025509A公开日:20120711

摘要:本发明提供一种流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法。可以提高具有流量测量设备和控制设备的流量测量系统的养护性。流量测量系统(100)包括MFC(2)以及管理该MFC(2)的控制设备(3),所述MFC(2)包括:流量传感器(21)以及相关数据存储部(D1),该相关数据存储部(D1)用于存储流量计算相关数据,该流量计算相关数据用于使用了由所述流量传感器(21)得到的测量数据的流体计算,所述控制设备(3)从所述相关数据存储部(D1)取得所述流量计算相关数据,并使用所述流量传感器(21)的所述测量数据和所述流量计算相关数据进行流量计算。

申请人:株式会社堀场STEC

地址:日本京都府

国籍:JP

代理机构:北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

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