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高稳定能量过滤电子显微像的接收方法及装置[发明专利]

来源:爱问旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:高稳定能量过滤电子显微像的接收方法及装置专利类型:发明专利发明人:王志伟,袁俊,许晨申请号:CN200610012165.6申请日:20060609公开号:CN1862761A公开日:20061115

摘要:高稳定能量过滤电子显微像的接收方法及装置,属于能量过滤电子显微成像技术领域。本发明通过漂移探测反馈方法消除由高压波动或电磁波干扰等导致的具有不同能量电子的空间分布相对能量选择狭缝的漂移,从而使能量过滤像接收装置在信号采集时间段内始终保持过滤电子的能量稳定,然后调节能量选择狭缝宽度,仅使包含样品激发特征谱信息的能量区段信号通过,通过累积获得具有高空间分辨或高能量分辨的能量过滤像。

申请人:清华大学

地址:100084 北京市100084-82信箱

国籍:CN

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